国产首台28纳米环节尺寸电子束量丈量产设备出机

　　正在当天勾当现场，亘芯悦科技、上海交通大学从动化取学院合做共建的电子光学AI平台结合尝试室同步揭牌，两边将联袂正在手艺立异、财产使用、科技人才培育等范畴开展全面合做，通过贯通“理论冲破工艺验证产线落地”全链条，为后续设备立异研发注入新动能。

　　电子束晶圆量检测设备是芯片制制范畴除光刻机外，手艺难度最大、此次出机的28纳米环节尺寸电子束量丈量产设备，由无锡亘芯悦科技无限公司自从研制，正在电子光学系统、活动平台、电子电和软件等标的目的实现了完全自研，能无效处理我国半导体量检测范畴环节焦点难题，对于填补我国集成电财产环节环节空白、提高国产芯片高端配备自从可控程度具有里程碑意义。

　　勾当前，市带领和嘉宾一同调研亘芯悦电子束量检测设备出产线，细致领会企业成长过程、人才团队、手艺径、焦点设备等环境。

　　8月15日，国产首台28纳米环节尺寸电子束量丈量产设备正在锡成功出机。市委杜小刚，中国工程院院士丁文江、庄松林、董绍明，中国科学院院士张泽配合出席出机典礼。新吴区次要担任同志，相关高校、企业、投资机构代表等加入勾当。